直線度：用標記表示-。定義特定平(ping)行線與(yu)理想平(ping)行線之間變(bian)化(hua)量的形狀公差(cha)。它由四個因素組成：外觀（理想公差(cha)外觀）、尺寸（尺寸公差(cha)值(zhi)）、方(fang)向(xiang)和位置。

平(ping)(ping)面(mian)度(du)：平(ping)(ping)整(zheng)度(du)是指理想(xiang)平(ping)(ping)面(mian)的(de)(de)(de)誤(wu)差與基板的(de)(de)(de)宏觀凹凸縱橫比的(de)(de)(de)相關(guan)性(xing)。準(zhun)確(que)的(de)(de)(de)平(ping)(ping)面(mian)度(du)測(ce)量是指將(jiang)被測(ce)表面(mian)改變為(wei)其理想(xiang)平(ping)(ping)面(mian)。平(ping)(ping)面(mian)度(du)偏差是將(jiang)被測(ce)表面(mian)與理想(xiang)平(ping)(ping)面(mian)進行比較，兩者之間(jian)的(de)(de)(de)線值間(jian)距為(wei)平(ping)(ping)面(mian)度(du)誤(wu)差；或根據比表面(mian)上幾個點的(de)(de)(de)絕對(dui)高差的(de)(de)(de)精確(que)測(ce)量，計(ji)算以線值表示的(de)(de)(de)平(ping)(ping)面(mian)度(du)誤(wu)差。

平(ping)行(xing)度：用標記//表示。平(ping)行(xing)度是指(zhi)兩個(ge)平(ping)面或(huo)兩條直線(xian)的平(ping)行(xing)度。一個(ge)平(ping)面（邊）與另一平(ping)面（邊）平(ping)行(xing)面的相對(dui)性偏差控制值。平(ping)行(xing)度尺寸(cun)公(gong)(gong)差是一個(ge)固定項目的尺寸(cun)公(gong)(gong)差，它是被測因素相對(dui)性標準方(fang)(fang)(fang)位角的總允許偏差。因此，固定項尺寸(cun)公(gong)(gong)差具有(you)操(cao)縱(zong)方(fang)(fang)(fang)向的功能，即操(cao)縱(zong)測量系數的方(fang)(fang)(fang)向，使其(qi)達到(dao)標準系數

垂直(zhi)(zhi)度(du)：由(you)標記表示⊥. 垂直(zhi)(zhi)度(du)對平(ping)(ping)(ping)(ping)行(xing)(xing)(xing)線(xian)(xian)中間(jian)、大(da)理石組(zu)件(jian)制造商平(ping)(ping)(ping)(ping)面圖(tu)中間(jian)或(huo)平(ping)(ping)(ping)(ping)行(xing)(xing)(xing)線(xian)(xian)和平(ping)(ping)(ping)(ping)面圖(tu)中間(jian)的(de)垂直(zhi)(zhi)度(du)進(jin)行(xing)(xing)(xing)評論。其中一條平(ping)(ping)(ping)(ping)行(xing)(xing)(xing)線(xian)(xian)或(huo)平(ping)(ping)(ping)(ping)面為評價(jia)標準(zhun)，平(ping)(ping)(ping)(ping)行(xing)(xing)(xing)線(xian)(xian)可以是被(bei)測物(wu)體(ti)平(ping)(ping)(ping)(ping)行(xing)(xing)(xing)線(xian)(xian)或(huo)勻速直(zhi)(zhi)線(xian)(xian)運動軌(gui)跡(ji)的(de)一部分(fen)，平(ping)(ping)(ping)(ping)面可以是平(ping)(ping)(ping)(ping)面的(de)一部分(fen)，也可以是由(you)被(bei)測物(wu)體(ti)軌(gui)跡(ji)生成的(de)平(ping)(ping)(ping)(ping)面。